功能簡介：

• 表面分析(Surface survey)：樣品表面之成份分析。

• 表面化學組態分析(Narrow scan)：樣品表面之元素化學組態鍵結分析。

• 縱深分析(Depth Profile)：樣品表面以 Ar 離子濺蝕，分析不同深度的元素成分及比例之縱深分布。

• 圖譜分析(Mapping)：檢測樣品表面分析區域的元素訊號，得到分析區域表面之元素分布影像圖。

• 線掃描(Line scan)：檢測樣品表面直線距離的元素訊號，得到直線距離表面之元素分布圖。

• 角度解析分析(Angle-resolved Analysis)：檢測薄膜樣品在不同角度之表面成份鍵結分析。(分析角度區間:0°~60°，角度間隔:10°)

儀器規格：

• X光光源(X-ray Source)：Al K-α
• X-ray Spot Size：30μm~400μm
• 真空系統(Analysis chamber ultimate vacuum)：5 x 10-9 mbar
• 電荷補償系統(Charge Neutralization) Flood Gun
• 離子噴濺系統(Ion Sputtering)：Ar+ Ion Gun (0.2keV~3keV)

研發聯絡資訊：

實驗室聯絡人：趙珍翌

電話：03-4638800

分機：3088

E-mail：jychao@saturn.yzu.edu.tw